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第388章 追光四期的量产节点验收（第1页）

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厂房内的洁净室区域，九条崭新的产线整齐排列，银灰色的设备腔体在黄色灯光下泛着金属光泽。梁志远站在中央控制室的大屏前，两侧站着林薇丶老韩丶张京京丶章宸，以及从芯谷赶来的陈醒和苏黛。今天，是追光四期后九条产线的量产节点验收日。台湾小说网解无聊，???α??σ?超实用前三条产线已经平稳运行了四个月，累计产出晶圆一万两千片，良率稳定在百分之九十六点二。但后九条产线采用了部分改进后的工艺模块——梯度过渡层的沉积参数优化了丶刻蚀腔体的内构件材料升级了丶检测设备的解析度提升了。这些改进是否能在量产环境中达到设计目标，需要今天的数据来说话。梁志远调出了宸说:「预测性维护模型，用的是天枢ai的设备健康管理模块。模型基于振动丶温度丶电流丶压力等四十七个特徵参数，可以提前七十二小时预测百分之六十的故障。误报率百分之八，漏报率百分之十二。这个精度，还在持续优化。」陈醒点头。「可靠性的数据，要整理成白皮书，发给所有追光设备的客户。客户买的不是设备，是设备的正常运行时间。」会议进入第三个维度——工艺能力和关键指标控制。张京京接过了汇报。她调出了第六页，是一张工艺能力的cpk（过程能力指数）表。「后九条产线的关键工艺步骤，cpk值全部在一点三以上。其中，光刻对准精度cpk一点六七，刻蚀均匀性cpk一点五五，薄膜厚度均匀性cpk一点四八。这些数据，和旧秩序的最先进产线处于同一水平。」「特别值得提的是，改进后的沉积模块，在梯度过渡层的厚度控制上，cpk从一点二提升到了一点四。这意味着，梯度过渡层的寿命预测更准确，客户可以更精确地安排维护计划。」

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